SDL5321，卢德锁式溅射装置，SHINKO神港精机

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产品名称: SDL5321，卢德锁式溅射装置，SHINKO神港精机

产品型号: SDL5321

产品厂商: 岩濑商事

产品文档: 无相关文档

SDL5321，卢德锁式溅射装置，SHINKO神港精机 的详细介绍

SDL5321，卢德锁式溅射装置，SHINKO神港精机

产品特点：

本機は、Φ100mmカソードを３元設けているため、多層膜が形成でき
Φ250mm内±10％以下の膜厚分布を実現しております。
搬送室および成膜室は常時真空保持されますので、スループットの短縮が可能な、省スペース型ロードロック式スパッタリング装置です。
タッチパネルの採用により、リアルタイムでプロセス確認が行えます。

产品用途：

本機は、省スペースを実現したロードロック式スパッタリング装置です。
カセット室に*大Φ２7０のトレーが、標準で12枚セット可能で、連続スパッタリングが行えます。

国内免费咨询专线：4008-933-365

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SDL5321，卢德锁式溅射装置，SHINKO神港精机

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