晶片搬运用清洁机器人SEMISTAR - M系列，SEMISTAR-M101，YASKAWA安川电机

名称

SEMISTAR-M101(単腕清洁机器人)

形式

XU-RC350S-C03

適用晶片尺寸

200 mm/300 mm

対応

真空吸着/边缘把手

标准结束长度

305 mm

動作軸数

3

摇臂方式

単腕

可搬質量^∗2

1 kg

動作範囲

R軸(伸縮)^∗3

650 mm

θ軸(旋回)

6.28 rad、360°

Z軸(昇降)

380 mm

B軸(先端回転)

-

*小旋回直径^∗4

485mm

*大速度

R軸(伸縮)

4.36 rad/s、250°/s

θ軸(旋回)

5.76 rad/s、330°/s

Z軸(昇降)

300 mm/s

胶印线活动

-

位置決め精度

R軸(伸縮)

0.1 mm(P-P)

θ軸(旋回)^∗5

0.1 mm(P-P)

Z軸(昇降)

0.1 mm(P-P)

B軸(先端回転)

-

清洁度^∗6

ISO班

本体概略質量

37 kg