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日本KASHIYAMA樫山-进口干式真空泵SDE系列

日本KASHIYAMA樫山干式真空泵简介：


可靠的真空技术。 各种产品，具有**的威力。

富山工业的产品赢得了半导体和液晶制造等现代领域客户的高度评价。

这种信任的基础是多年来积累的真空技术。

特别是，一系列干燥泵是半导体制造工艺的标准，是真空技术的**，在具挑战性的工艺中表现出高的可靠性，受到客户的高度评价。

除了干泵外，富山真空技术（如机械增压泵、真空排气系统等）产生的产品在各个领域都非常强大。

主要类型

规格/型号 SDE90X SDE120TX SDE200 SDE303X SDE603X SDE1203TX SDE20N12TX SDE30N20 SDE60N20
大排气速度
[L/min] *1 		1,300 1,500 3,300 5,000 10,000 20,000 30,000 50,000 100,000
到达压力
[Pa] *1 		1.3 0.5
电源电压
（50/60Hz） 		3 相 AC200 至 220V
功耗 [kW]*2 1.3 2.8 2.7 1.5 1.6 3.2 3.3 3.7
外观尺寸 [mm]*3 L 690 930 900 1000 1000 1080
W 370 400 400 450 450 515
H 501 500 905 1000 950 950

*1) N2未**时的值。 *2） 到达运行时的消耗电力概要值。 *3） 包装尺寸。 有关详细尺寸，请索取外观图。
*有关海外标准，请联系我们。 此外，规格和型号名称如有更改，恕不另行通知。
*有关兼容气体类型，请联系我们。


排气性能曲线

排气性能曲线
*排气性能曲线因组合而异。


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